thermo等离子体光谱仪具有环形结构、温度高、电子密度高、惰性气氛等特点，用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度G等分析性能。ICP是用于原子发射光谱的主要光源。
thermo等离子体光谱仪的局限性，主要体现在以下几个方面：
1.对于固体样品一般需预先转化为溶液，而这一过程往往使检出限变坏；
2.因为工作时需要消耗大量Ar气，所以运转费用高；
3.因目前的仪器价格尚比较高，所以前期投入比较大；
4.仪器如果不与其他技术联用，它测出的只是样品中元素的总量，不能进行价态分析。
应用范围：
1.钢铁及其合金的分析：包括碳素钢、铸铁、合金钢、高纯铁、铁合金等；
2.有色金属及其合金的分析：包括有色金属及其合金、稀有金属及其合金、稀土元素及其化合物；
3.水质样品的分析：包括饮用水、地表水、矿泉水、高纯水及废水等；
4.环境样品的分析：包括固体废物、土壤、粉煤灰等；
5.地矿样品的分析：包括地质样品、矿石及矿物等；
6.动植物及生化样品的分析：包括植物、中Y及动物组织、生物化学样品等；
7.核工业产品的分析：包括核燃料、核材料等；
8.食品及饮料的分析：包括食品、饮料等；
9.化学化工产品的分析：包括化学试剂化工产品无机材料化妆品油类等。
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