电学测量
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力学操纵
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1.包含一个电流电压测试单元;
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1.探针粗细调方式:全软件操控;
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2.电流测量范围:1nA-30mA;
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2.粗调范围:XY方向2.5mm,Z方向1.5mm;
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3.电流分辨率:100fA;
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3.细调范围:XY方向18um,Z方向1.5um;
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4.电压输出范围:±10V,±150V;
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4.细调分辨率:XY方向0.4nm,Z方向0.04nm;
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5.软件自动测量:I-V、I-t
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